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3つの加熱ゾーンを備えたCVDチューブ炉 - OTTF の-1200X シングル温度ゾーンオープン型真空管炉は、二重層空冷構造を特徴としています。 ・炉体の表面温度は60℃以下に保たれます。 - ポンプシステムを備えたチューブ炉は、高温真空吸着を使用した高純度アルミナ微結晶繊維で作られています。 - 輸入された加熱抵抗線プログラムインサートにより、高温管炉本体の耐用年数が延長されます。
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