製品説明
AOT-VTC-100A自動デジタルスピンコーターと真空スピンコーターは、4インチウェーハと不規則な基板用に設計されています。自動デジタルスピンコーターと真空スピンコーターは、耐腐食性ポリプロピレン液体トレイと3段階真空吸引カップを採用し、500〜8,000rpmの2段階プログラム可能な回転速度制御をサポートし、精度は±1％です。自動デジタルスピンコーターと真空スピンコーターは、オイルフリー真空ポンプインターフェイスと調整可能なシリンジホルダーを統合し、粘度0.5〜5000cPsのゾル材料に適しており、単一のコーティング時間は1〜60秒に調整可能です。粘着テープとマイクロ吸引カップのオプションが標準で付属し、5×5mm〜10×10mmの不規則な基板に対応し、フィルムの厚さの均一性は±2％です。機械重量 15kg、サイズ 330 x 254 x 216mm、プラグアンドプレイで、半導体、MEMS、光学薄膜研究室の効率的なコーティングのニーズを満たします。
製品モデル | AOT-VTC-100A |
構造 | 安定した回転を保つアルミ鋳造ケース 液体ディスクはポリプロピレン（PP）製で、ほとんどの腐食性溶液に耐えます。 排水口と真空ポンプコネクタは背面パネルにあります 標準パッケージにはフィルターが1つ含まれています。コーターに接続して、ポンプへの廃水の流入を防ぐために使用されます。 標準パッケージにはオイルレス真空ポンプが 1 台含まれています。仕様の詳細については、ここをクリックしてください。 |
チャンバーと真空チャック
| チャンバー径：145 んん チャック O リング付きの PP 耐腐食性真空チャック 3 セットは、さまざまなサイズ (1 インチ、2 インチ、4 インチ) があります。 不規則な形状の基板をコーティングするための粘着テープ 1 枚 (幅 6 インチ x 長さ 24 インチ) が含まれています (例: 不規則な基板を粘着テープの上に置くと、真空チャックがテープを吸引して保持します) ミニ吸盤は、直径1"h未満の小型ウエハ、または定形（5x5mm、10x10mm）または不定形基板にご利用いただけます。ご注文はこちらをクリックしてください。追加料金がかかります。（右下の写真をご覧ください） |
真空ポンプ（別売）
| 2022年9月7日以降、120L/minオイルレス真空ポンプは付属しません。 すぐに使用できるように真空グレードのゴムパイプが付属しています。 |
回転速度と時間
| 回転時間と速度を2段階にプログラムできるデジタルコントロールパネル 回転速度: 500 - 8000 回転数 回転時間: 1 - 60秒 |
液体注入 | コーティング材を入れるために20mLのシリンジを使用する シリンジホルダーの高さはサポートロッドに沿って自由に調整および回転できます。
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入力電圧 | スピンコーター: 24 VDC、100 - 240 VAC電源アダプター、150W 真空ポンプ: 110VACまたは220VAC（オプションバーで電圧を選択してください）（10Aヒューズ） |
モーター出力 | 最大150Wの24V DCモーター。 |
製品寸法 | 330.2mm(長さ) x 254mm(幅) x 215.9mm(高さ)
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重さ | 15キロ |
実験室スピンコーティング用自動デジタルスピンコーターと真空スピンコーター
AOT-VTC-100A 自動デジタルスピンコーターおよび真空スピンコーター、4 インチウェーハ専用、500 ～ 8000 回転数 2 段階プログラミング、耐腐食性 PP 真空吸引カップ、不規則な基板のゾルゲルコーティングに対応、実験室レベルの高精度フィルム厚さ制御、プラグアンドプレイのコンパクト設計。
展示
AOT リチウム電池設備展示会は、出展者と来場者に展示、交流、協力、貿易のための包括的なプラットフォームを提供します。展示会への参加を通じて、企業は業界の動向を把握し、市場チャネルを拡大し、ブランドイメージを向上させ、技術革新と産業の高度化を促進することができます。
証明書
協力パートナー
よくある質問
Q1: 3" または非標準サイズの基板を適合させるにはどうすればよいですか?
A: 標準の粘着テープを使用して、基材を 4 インチの吸盤またはオプションのカスタマイズされた小型吸盤 (5 x 5 んん ～ 10 x 10 んん) に取り付け、真空取り付けによるコーティングの安定性を確保します。
Q2: コンパクトスピンコーターが付属していない場合、オイルフリー真空ポンプはどのように動作しますか?
A: 基板の安定した吸着を確保するために、真空レベルが -80kPa であることを保証するために、互換性のある真空ポンプ (推奨流量 ≥ 120L/分) を追加で購入し、ユニット背面のインターフェースを介して接続する必要があります。
Q3: コンパクトスピンコーターは高粘度ゾル(>5000cPs)に適していますか?
A: コンパクトスピンコーターでは、回転速度を500～2000rpmに下げ、コーティング時間を30秒以上に延長し、必要に応じてゾルを25～30℃に予熱して流動性を向上させることをお勧めします。
Q4: 交差汚染を避けるために PP トレイを洗浄するにはどうすればよいでしょうか?
A: コーティング後、直ちに脱イオン水で洗い流してください。有機溶剤系の場合は、エタノールを用いて5分間超音波洗浄してください。拭き取りの際は、強酸や強アルカリの使用は厳禁です。
Q5: シリンジホルダーは50mLサイズに適合できますか？
A: 標準ホルダーは20mLシリンジに対応しています。より大きな容量の場合は、ホルダーの高さを手動で調整・固定できます。コーティングの均一性を確保するため、少量ずつ液体を注入することをお勧めします。
