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製品説明
AOT-結核-616高精度スピンコーターは、ウェハ、ガラス、セラミック基板へのコーティングプロセス向けに設計されています。0～10000rpmの無段階速度制御システム、標準4インチ真空チャック（10～150mmの基板に対応）、±1秒（1～9999秒の調整範囲）の高精度時間制御を備えています。
120Wブラシレスモーターと0.01μmレベルのダイナミックバランシング技術を搭載し、10nmレベルの膜均一性を実現します。オールメタルボディ（7.5kg）には、スマートな飛散防止モジュールが内蔵されており、オプションで85L/分のオイルフリー真空ポンプもサポートします。フォトレジスト、ゾルゲルなどの塗布に適しています。CE/ROHS/CCC認証取得済みで、1年間の保証と10営業日以内の納品を提供し、マイクロエレクトロニクス研究室、太陽光発電の研究開発、大学教育のニーズを満たします。
製品名 | AOT-結核-616 高精度スピンコーター |
状態 | 新しい |
原産地 | 中国 |
ブランド名 | AOT |
モデル番号 | AOT-結核-616 |
主電源 | 単相交流：220 V/110 V、50 Hz |
モーター出力 | 120ワット |
重さ | 7.5キロ |
寸法（長さ×幅×高さ） | 30cm × 40cm × 30cm |
認証 | CE/ロシュ/CCC |
保証 | 1年 |
モデルタイプ | 高精度スピンコーター |
スピード | 300～10000 回転数 / 分 |
回転式真空吸引カップの直径 | 4インチ（102 んん、標準構成） |
オプション構成 | 直径10～150mmの基板の注文を受け付けています |
時間設定 | 1～9999秒 |
標準梱包寸法 | 260mm（幅）×350mm（奥行き）×260mm（高さ） |
パッケージの詳細 | 輸出用木製梱包材 |
配送の詳細 | 10営業日 |
オプションのスペアパーツ:
1. オイルレスポンプで85L /分
2. 特殊真空吸引（6インチ、3インチ、2インチ、1インチ以下）
製品展示
AOT-結核-616 高精度スピンコーター
AOT-結核-616 高精度スピンコーター、10000 回転数 無段階速度調節、150 んん 基板用 4 インチ真空チャック、10 ナノメートル レベルのフィルム厚さ均一性、CE/ROHS/CCC 認証、10 営業日以内の迅速な納品、研究室および業界向けのコーティングソリューション。
展示
AOT リチウム電池設備展示会は、出展者と来場者に展示、交流、協力、貿易のための包括的なプラットフォームを提供します。展示会への参加を通じて、企業は業界の動向を把握し、市場チャネルを拡大し、ブランドイメージを向上させ、技術革新と産業の高度化を促進することができます。
証明書
協力パートナー
よくある質問
Q1: スピンコーターは6インチウェーハのコーティングに対応していますか？
A: 標準構成は4インチチャックです。オプションで専用の6インチチャックもご用意しており（ご注文時にご指定ください）、150mm基板の安定した吸着を最大限にサポートします。
Q2: 300 ～ 10,000 回転数 の速度範囲での精度誤差はどれくらいですか?
A: 閉ループサーボ制御を採用しているため、フルスケール速度偏差は0.5%未満です。プログラム可能な加速曲線により、段階的なコーティングプロセスにも対応可能です。
Q3: 真空ポンプも保証の対象ですか?
A: 本体には1年間の保証が付いています。オプションのオイルフリー真空ポンプには、消耗品を除き、別途6ヶ月の保証が付いています。
Q4: オイルフリー真空ポンプは従来のポンプに比べてどのような利点がありますか?
A: 85L/分のオイルフリーポンプは、クリーンルーム環境でのオイルミスト汚染を排除し、騒音を 52dB まで低減し、メンテナンス間隔を 2,000 時間に延長します。
Q5: 10 営業日の配送期間はカスタム構成にも適用されますか?
A: 標準構成の場合、10日以内の納品が保証されます。特殊なチャックや真空ポンプを含むご注文の場合は、納期が3～5営業日延長されます。
